■一流体スプレーノズル（洗浄用・プロセス用）

プリント基板、液晶、ウエハーなどの各種洗浄、エッチングなどに適した一流体ノズル。豊富な性能の種類を取り揃えております。
対応製品：
ウェハー、液晶、カラーフィルム、PDP、プリント基板、有機ＥＬ、フィルム基板、シャドウマスク、フォトマスク、ハードディスクなど
　

■一流体ノズルヘッダー

全長1000〜2500mm、H16 x D16mmの小型・軽量設計。
ごく狭いスペースでも設置可能です。小流量のスプレーでも安定した性能を発揮します。
用途：
液晶洗浄、薬液の供給、基盤への補水、治具洗浄など
　

■二流体ノズル（精密洗浄用）

微細な霧と高速エアー流により、微小な部位にも洗浄液を通過、浸透させパーティクルを除去します。小流量の液で高い洗浄効果を発揮。豊富な製品ラインナップから用途に適した性能のノズルを選択可能です。

　

■二流体ノズルヘッダー（精密洗浄用）

省スペース、配管の簡略化を実現した二流体ノズルヘッダー。微細な霧と高速エアー流により、微小なパーティクルを効率よく除去します。小流量の液で高い洗浄効果を発揮。
材質はステンレス製、樹脂製があり、省スペース型のコンパクトタイプもあります。
　

■高圧洗浄ノズル（精密洗浄用）

セラミックス、クリスタルサファイアなど耐摩耗性に優れたオリフィス材質の高圧用スプレーノズル。強力なインパクトにより、高い洗浄効果を発揮します。
省スペースを実現した長尺の高圧ノズルヘッダーもご用意。
　

■液膜、エアー膜生成ノズル　「精密スリットノズル・ヘッダー」

高精度の均一性を有する液膜、エアー膜を生成。
スリット長50〜3900mm、スリット幅0.05〜1.6mm、材質はステンレス、チタン、HTPVCなどご使用条件に合わせて製作いたします。
用途：
液晶、基板の洗浄リンス、薬液コート、エアーナイフ、ほか
　

■静電気防止用加湿システム

少ないエア量で超微細噴霧を実現するエアー噴霧式加湿器、および静電気防止用加湿システム。 検査工程に最適です。
用途
湿度調節、静電気防止、塵埃付着防止など。
　

	加湿・調湿システム
	エアー噴霧式加湿器

■槽内攪拌用ノズル　「タンクミキシング エダクター」

吐出液量の４倍を周囲から吸引し、 ５倍量を強力噴射する攪拌用ノズル。小さなポンプでも槽内の攪拌効率を大幅にアップさせることが可能です。
用途
タンク内溶液の攪拌、均一化、分離防止。基板の液中洗浄、エッチング、メッキ液の攪拌など
　

■研磨粉除去用　「MAXフィルター・ろ過装置」

ろ過前後の液

ろ布などを使用しない、逆洗性に優れたバネ式フィルター。処理量が大きくメンテナンスフリーの省スペース型ろ過装置。
循環水への切替えにより、大きな節水効果をもたらします。

用途
プリント基板研磨後の銅粉混入水ろ過、超高精密ろ過の前処理、メッキ処理液のSS除去・再生など
　

■エレクトロニクス産業用カタログ

各種洗浄、現像、エッチング、剥離、コーティング、湿潤、液きり、乾燥、冷却、加湿、静電気対策など、電子機器の製造工程に適したカタログを各種取り揃えております。